FTIR SECⅡ200 晶圆检测设备为 4”/5”/6”/8”的Si、SiC为基底的wafer通过傅里叶红外光，量测外延层厚度以及表面钝化层参杂氟、磷、硼磷浓度打造。
设备配备标准PORT，用于承载OPEN CASSETTE。
亦可配备SMIF PORT用于实现SMIF的自动化装载。
设备搭载SECS/GEM 200数据系统，可实现量测数据上传以及远程控制功能。