英诺维半导体科技（苏州）有限公司
英诺维半导体科技（苏州）有限公司团队成立在2018年，开始研发、实验红外光在Wafer外延层的应用和数据积累；公司成立于2021年，专业从事FTIR在晶圆外延层检测设备的设计与制造。2022年，全自动FTIR晶圆在线检测设备已成功交付5台。公司从方案设计、精密加工、组装调试、现场实施及售后支持等方面为客户提供全方位服务。目前主要有FTIR离线或在线自动化设备，机器人及软件等产品、并计划2024年开始对汞探针式电阻率和XRD/XRT自动化设备研发；我们针对半导体Semi S2 的独特要求，整合运动控制、配合自主开发的SECEGEM软件，为客户提供客制化的自动化检测设备解决方案。
